TMO7036

中国·8827太阳集团 TMO7036 题材防静电三爪卡盘多实用功能油田电，超狭窄型轿车尺寸图来设计的概念，可孤立輸出多路油田，每路展示 ±10kV/35mA 优质輸出（的精密度±1%，纹波<100mVp-p），认可 100nF 在于位滤波电容测量。必备 20ms 迅猛过零调节效果，集成系统强有力的加密管控养护实用功能，认可养成量/RS485管理及教学液晶现示。已应该用于半导体主设备阴离子植入和刻蚀主设备中，特性安稳稳定可靠。它的封裝来设计的概念狭窄型轿车轻便，可 OEM。

典型应用：E-Chuck；静电卡盘；静电吸盘；静电吸附系统

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产品特点

+24V DC 输入
多路独立输出，每路±10kV
双极性输出 20ms 极性切换
平滑过零
模拟量控制/485 控制
100nF 内在位电容检测

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详细地址：哈尔滨市高新技术园林任贤街110号
电话：0411-84754522
邮箱：sales@njszc.com
网止：njszc.com
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产品规格

输入

+24VDC±5%，5A。

输入接口

绕城高速背板进行防水连接器 125 针

通道数

多路必选，每路自由可调节为。

调节范围

-10kV~+10kV。

输出电流

0~35mA 可设计（过载＜1μF 时）。

电压精度

额定容量值±1%。

高压端电流检测

0.1%准确度，50nA~100μA/100μA~25mA 两档

纹波

非常典型＜100mVp-p（10nf 下，0~1MHz，平顶纹波）。

过零特性

支持软件。

过冲（超调/失调）

常见<2V（10nf 过载时，从-5kV 到+5kV）。

输入到输出延时

远远超过 3ms。

转换（升/降）速率

典例 20ms（10nf 短路电流时，从-5kV 到+5kV）。

循环频率

典型案例 50Hz（10nf 负债时，从-5kV 到+5kV）。

输出阻抗

＞20kΩ（单路）。

电压显示

辨别好坏率= 1V。精确远低于±50V。

电流显示

判定率=10μA。定位精度=现场转换±100μA 偏离的±2%。

稳定度

2V/s。

输入调整率

在随便装载状况下，10%导入电压值影响<0.1%。

负载调整率

从零到满阻抗<1.3%。

保护

填写过/欠压、过流自我保护，输出的过压、过流、过温。

控制功能

相电压调节器、直流电压调节、热键 d-chuck 等。

通信

能够 DB25 模以量调整，也可供选择择 RS-485 串行模块协议（相关模块协议可开发）。

控制信号

0 表示-5kV，5V 表示 0kV，10V 表示+5kV（另一个形态可个性定制）。

典型负载电容

<10nF(针对于别的电流电阻，请联系起来中国·8827太阳集团)。

在位电容检测范围

100nF 已内（需加装音响外置电容器在线检测电路设计）。

温度系数

工作电压和交流电好于 300ppm/℃。载满时<0.1%p-p，较大输出的。

环境温度

工作时

0˚C 至 45˚C

储存时

-20˚C 至 70˚C。

湿度

0 至 85%RH，非冷却水。

冷却

肯定冷却水。

外形尺寸

宽 355 mm，高 44.25 mm ，深 243mm。