TESC7080 客户定制高压电源

TESC7080

中国·8827太阳集团 TESC7080 系类静电感应液压卡盘常用进行高压电源线，提高±5kV 脱贫传输（表面粗糙度±1%，纹波<100mVp-p），漏电流监控专用设备自我保护措施值 0-40mA 可装置，认可 100nF 在于位电阻检验。具备着 20ms 便捷过零设置作用，集成式多种自我保护措施作用，认可模拟训练量/RS485 把控及lcd屏体现 。已适用于半导阴离子赋予和刻蚀专用设备中，的性能维持能信。它的封装类型制作密集轻便，可 OEM。

典型应用：E-Chuck；静电卡盘；静电吸盘；静电吸附系统

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产品特点

  • +24V DC 输入
  • 双极性输出 20ms 极性切换
  • 平滑过零
  • 模拟量控制/485 控制
  • 100nF-10nF/10nF-1nF 可选在位电容检测范围
  • 在位电容检测速度 1s 内 10 次

联系我们

地止：大连市市高新区项目任贤街110号
电话：0411-84754522
邮箱：sales@njszc.com
网站：njszc.com
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产品规格

输入

+24VDC±5%，5A。

通道数

2 路，每路独立性随意调节

调节范围

每路-5kV~+5kV 间断能调

电压精度

功率值±1%

纹波

明显＜100mVp-p（10nf 下，0~1MHz，平顶纹波）

过零特性

苹果支持

过冲（超调/失调）

关键<2V（10nf 装载时，从-5kV 到+5kV）

输入到输出延时

相较于 3ms

转换（升/降）速率

关键 20ms（10nf 额定负载时，从-5kV 到+5kV）

循环频率

典型性 50Hz（10nf 阻抗时，从-5kV 到+5kV）

输出阻抗

＞20kΩ（单路）

电压显示

区分率= 1V 精密度更为重要±50V

电流显示

分辩率=10μA 高精准度=现实的效果±100μA 移位的±2%

稳定度

重启 0.5 小的时候后每 8 小的时候需小于 0.01%。

输入调整率

在很多电动机扭矩标准下，10%设置直流电压变化无常<0.1%

负载调整率

从零到满装载<1.3%

保护

录入过/欠压、过流保護，导出过压、过流、过温

前面板控制

液晶拼接屏展现屏，交流电压缓解、感应电流设计、一鍵 d-chuck 等

通信

凭借 DB25 仿真量把握，也可选装择 RS-485 串行电源界面（任何电源界面可订做）

控制信号

0 使用-5kV，5V 使用 0kV，10V 使用+5kV（其它的样式可个人定制）

典型负载电容

<10nF(而言一些环境下电阻，请联络中国·8827太阳集团)

在位电容检测范围

100nF 以內

温度系数

相电压和电压电流具有 300ppm/℃ 高速行驶时<0.1%p-p，最大化輸出

环境温度

工作时

0˚C 至 45˚C

储存时

-20˚C 至 70˚C

湿度

0 至 85%RH，非冷凝水

冷却

肯定冷却后

外形尺寸

宽 241 mm ，高 88 mm ，深 411mm。